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Direct writing of metal features narrower than 100 nm is accomplished by scanning a focused ion beam over a substrate covered with a thin solid metalorg. film. A metalorg. cluster coordination compd. [Ir4(CO)11Br] [N(C2H5)4] is spun on an oxidized Si wafer ...
Spin-coated solid films of the gold-cluster compd. dodeca-(triphenylphosphine), hexa(chloro)pentapentacontagold Au55(PPh3)12Cl6 are irradiated with a focused 20-keV Ga+ focused-ion beam. Writing speeds on the substrate ranged from 50 up to 2000 mm/s. This ...
Laser direct writing of metal lines from solid metalorg. films coated on surfaces has been studied in three systems. Copper deposition from Cu(HCOO)2.2H2O was carried out at higher writing speeds than previously attained. Direct writing of iridium lines fr ...
