Explore les techniques de fonctionnement et d'imagerie de la microscopie électronique à transmission (TEM), y compris la configuration du mode de service et l'utilisation de la micrographie numérique.
Explore les corrections de l'effet de proximité dans la lithographie par faisceau d'électrons pour les petites et grandes caractéristiques, en soulignant l'importance de la modélisation de la fonction d'étalement du point de faisceau.
