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Explore les lois d'échelle et les applications de l'électrostatique dans MEMS, couvrant des sujets tels que les condensateurs de plaques parallèles, les actionneurs à fermeture éclair et les gyroscopes MEMS.
Couvre la solution des équations de Maxwell en utilisant des fonctions vertes avancées et retardées, en se concentrant sur l'électrostatique avec des conditions limites générales.