MEMS électrostatique: mise à l'échelle et actionnement

Cette séance de cours couvre la courbe de Paschen, qui relie la tension de claquage à la pression et à la distance dans l'air, expliquant le champ de claquage inférieur dans l'air et la tension maximale applicable dans l'air. Il explore la tension de claquage à 1 atmosphère, l'influence du champ électrique sur la constante de ressort effective et la comparaison des densités d'énergie entre différents principes d'actionnement. La séance de cours explore également l'actionneur électrostatique à plaques parallèles, en discutant de la position d'équilibre, de la constante de ressort efficace et des phénomènes d'extraction. Il se termine par des méthodes pour stabiliser les actionneurs électrostatiques afin d'augmenter la portée de contrôle et d'empêcher le pull-in.

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Séances de cours associées (15)

Concepts associés (26)

MICRO-470: Scaling laws in micro & nanosystems

This class adresses scaling laws in MEMS/NEMS. The dominant physical effects and scaling effects when downsizing sensors and actuators in microsystems are discussed, across a broad range of actuation

Potentiel électrique

Le potentiel électrique, exprimé en volts (symbole : V), est l'une des grandeurs définissant l'état électrique d'un point de l'espace. Il correspond à l'énergie potentielle électrostatique que posséderait une charge électrique unitaire située en ce point, c'est-à-dire à l'énergie potentielle (mesurée en joules) d'une particule chargée en ce point divisée par la charge (mesurée en coulombs) de la particule.

Champ électromagnétique

Un champ électromagnétique ou Champ EM (en anglais, electromagnetic field ou EMF) est la représentation dans l'espace de la force électromagnétique qu'exercent des particules chargées. Concept important de l'électromagnétisme, ce champ représente l'ensemble des composantes de la force électromagnétique s'appliquant sur une particule chargée se déplaçant dans un référentiel galiléen. Une particule de charge q et de vecteur vitesse subit une force qui s'exprime par : où est le champ électrique et est le champ magnétique.

Décharge électrostatique

La décharge électrostatique (DES) (en anglais, ESD pour electrostatic discharge) est un passage de courant électrique entre deux objets possédant des potentiels électriques différents sur un temps extrêmement court. Le terme est souvent utilisé en électronique et dans l'industrie lorsque l'on veut décrire des courants fugaces non-désirés pouvant endommager l'équipement électronique. Une décharge électrostatique est un problème grave dans l'électronique des solides, tels que les circuits intégrés.

Electrostatic generator

An electrostatic generator, or electrostatic machine, is an electrical generator that produces static electricity, or electricity at high voltage and low continuous current. The knowledge of static electricity dates back to the earliest civilizations, but for millennia it remained merely an interesting and mystifying phenomenon, without a theory to explain its behavior and often confused with magnetism.

Microsystème électromécanique

vignette|Un accéléromètre MEMS. vignette|Un capteur de pression MEMS (sur une pièce qui donne l'échelle). Un microsystème électromécanique est un microsystème fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. Il comprend un ou plusieurs éléments mécaniques et utilise l’électricité comme source d’énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur ou d’actionneur, avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques ; la fonction du système étant en partie assurée par la forme de cette structure.

Physique avancée I : Lois de Newton et Forces fondamentales PHYS-100: Advanced physics I (mechanics)

Explore les lois de Newton, les forces fondamentales et les exercices sur ces sujets.

Champ magnétique et loi d'ampère

Explore les champs magnétiques, la loi d'Ampère et les circuits électromagnétiques, couvrant des sujets tels que le flux magnétique, l'intensité du champ et les lignes de champ.

Électrostatique dans la matière : dipôles électriques et densité énergétique

Couvre les dipôles électriques, l'énergie dans les champs et les forces de polarisation dans différents matériaux.

Charges et champs électriques

Introduit l'électrostatique, la loi de Coulomb, les champs électriques et le comportement de charge dans les matériaux.

Circuits de courant direct : lois et résistances de Kirchhoff PHYS-201(d): General physics: electromagnetism

Couvre les courants DC, les résistances, les condensateurs, les lois de Kirchhoff et la force électromotive dans les circuits électriques.