Cours

MSE-619: Nanofabrication with focused electron and ion beams

Résumé

Nanofabrication with focused charged particle beams (SEM, FIB) and their applications such as lithography, gas assisted deposition / etching, and milling are discussed and the limitations of these processes are developed based on the acquired understanding of the interactions.

Séances de cours

Source officielle

https://edu.epfl.ch/coursebook/fr/nanofabrication-with-focused-electron-and-ion-beams-MSE-619

Page Moodle

http://go.epfl.ch/MSE-619

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.