Séance de cours
Cette séance de cours couvre l'utilisation de capteurs et d'actionneurs intégrés pour les porte-à-faux en microscopie à sonde à balayage, en mettant l'accent sur les effets piézorésistifs et piézoélectriques. Il explique les avantages des systèmes compacts et intégrés et l'emplacement optimal des capteurs. L'effet piézorésistif dans le silicium est détaillé, ainsi que la fabrication de porte-à-faux piézorésistifs. En outre, la séance de cours discute des encorbellements piézoélectriques, comparant les réponses en fréquence de différents actionneurs. Il se termine par le concept de systèmes de microscopie à sonde à balayage parallèles, comprenant des réseaux de sondes avec des actionneurs et des capteurs intégrés, permettant une collecte de données à grande vitesse.