Séance de cours
Systèmes micro-électro-mécaniques
Description
Cette séance de cours présente les systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS), qui intègrent des éléments mécaniques, des capteurs, des actionneurs et parfois des composants électroniques sur un substrat commun grâce à la technologie de microfabrication. Il couvre les principes généraux de fonctionnement, les éléments MEMS tels que les actionneurs et les capteurs, les lois de mise à l'échelle, le choix du silicium pour les MEMS, les capteurs pour diverses mesures et les actionneurs pour différentes applications.
Source officielle
À propos de ce résultat
Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.