Séance de cours
Cette séance de cours présente les systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS), qui intègrent des éléments mécaniques, des capteurs, des actionneurs et parfois des composants électroniques sur un substrat commun grâce à la technologie de microfabrication. Il couvre les principes généraux de fonctionnement, les éléments MEMS tels que les actionneurs et les capteurs, les lois de mise à l'échelle, le choix du silicium pour les MEMS, les capteurs pour diverses mesures et les actionneurs pour différentes applications.