Dispositifs micro/nanomécaniques: Introduction

Cette séance de cours présente le cours ME-426 sur les Dispositifs Micro/Nanomécaniques, qui couvre les objectifs, les techniques de fabrication, les principes de transduction et les concepts clés comme la non-linéarité, le stress et le bruit thermomécanique. Il met l'accent sur les avantages de réduire la taille des appareils et les défis des systèmes MEMS et NEMS commerciaux. Des questions pratiques telles que le calendrier des cours, les matériaux et la charge de travail sont également discutées, ainsi que le format de l'examen et les messages importants à prendre à la maison sur les lois d'échelle, la fabrication, la transduction, la force/stress, le comportement dynamique, le bruit et les eigenmodes.