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Cette séance de cours couvre les modèles physiques des microsystèmes et nanosystèmes, en commençant par une introduction à la modélisation des problèmes généraux en nanomécanique. Il se décline ensuite en exemples tels qu'un faisceau cantilevered et des dispositifs MEMS, explorant la relation entre la force et le déplacement. L'instructeur démontre l'utilisation du logiciel COMSOL Multiphysics pour analyser la mécanique structurale, le transfert de chaleur et l'électrostatique. La séance de cours traite également de l'étude des champs stationnaires, de l'application de différentes interfaces physiques et de l'importance de la mécanique solide dans l'analyse structurale.