Les bases de la salle blanche : Introduction aux problèmes de contamination

Cette séance de cours couvre les bases des salles blanches et la question de la contamination dans les processus de microfabrication. Il traite de l'impact des contaminants tels que les microparticules, les ions métalliques et les produits chimiques indésirables sur les performances et la fiabilité des appareils. Les sources de contamination, y compris l'air, l'eau de traitement, les produits chimiques de traitement et les gaz, sont explorées en détail, soulignant l'importance de maintenir un environnement propre pour assurer la qualité et la fiabilité des dispositifs microfabriqués.