Microscopie optique : Techniques et applications

Cette séance de cours couvre les principes et les applications de la microscopie optique, y compris les variations telles que le champ lumineux, le champ sombre et le contraste d'interférence différentielle. Il explique également la configuration d'un microscope optique, les mesures des dimensions dans les directions XY et Z, les mesures du profil de surface et l'utilisation de la microscopie de force atomique pour la mesure de la rugosité de surface. De plus, il traite de la caractérisation électrique des dispositifs MEMS, des mesures de résistivité et de l'importance des mesures des sondes à quatre points. La séance de cours se termine par des techniques avancées telles que le SEM, le TEM, le FIB et l'AFM, ainsi que par des questions communes telles que la charge d'échantillons et la gravure et le dépôt assistés au gaz.