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Cette séance de cours couvre la micro-analyse des rayons X (XRMA), une technique d'analyse des rayons X émis par la matière lorsqu'elle est excitée par un faisceau d'électrons. Il compare XRMA dans les microscopes électroniques (EM) avec des spectromètres spécifiques comme EMPA, discutant de la sensibilité, de la précision et de l'interaction entre les électrons et la matière. La séance de cours explique le volume d'interaction, l'émission primaire, la fluorescence des rayons X et l'excitation-relaxation de la matière. Il détaille l'analyse des matériaux épais et minces, les effets matriciels et les méthodes de correction pour l'analyse quantitative. Les spectromètres XRMA, les modes de fonctionnement et les sources d'erreurs sont également discutés, ainsi que les méthodes d'analyse qualitative et quantitative pour les échantillons épais et minces.