Explore la lithographie UV et DUV, les bases de la lithographie par faisceau d'électrons, les matériaux résistants et l'optique, en comparant EBL avec d'autres méthodes de lithographie.
Présente les applications avancées du microscope à effet tunnel au-delà de l'imagerie, y compris la spectroscopie pour les propriétés électroniques et l'assemblage de nanostructures.
