Inspection et métrologie : caractérisation électrique des couches minces

Cette séance de cours couvre l'évaluation de la qualité et de la résistance des films minces en utilisant diverses techniques de métrologie telles que la microscopie optique et les résistivimètres. Il explique la méthode de mesure à 4 points de Van der Pauw pour évaluer la qualité du film métallique et calculer la résistivité. La séance de cours traite également de la mesure de la résistivité Cr dans les structures bimorphes et du calcul de la résistance Cr en fonction des dimensions. En outre, il explore l'utilisation d'une station de sonde pour la caractérisation électronique et l'importance d'une conception de modèle de test appropriée pour éviter l'épuisement du dispositif et assurer un contact ohmique.