Microscopie électronique à balayage: signaux et détecteurs

Cette séance de cours couvre les principes de la microscopie électronique à balayage (SEM), y compris les signaux SEM, les détecteurs d'électrons, le spectre d'énergie des électrons, le volume d'interaction et les simulations de Monte-Carlo. Il traite également de l'imagerie SEM avec des électrons, des trajectoires électroniques dans la matière et de l'efficacité de la génération de rayons X. La séance de cours explore en outre la quantification de la génération de rayons X, le rendement pour les électrons secondaires et les électrons rétrodiffusés, et le contraste topographique en mode SEM. En outre, il se penche sur la résolution spatiale dans SEM, le traitement des câbles supraconducteurs multifilaments NbzSn, et le rôle de Cu et Ti dans les limites de grain. La présentation se termine par un focus sur la simulation du volume d’interaction et la haute résolution spatiale dans les couches PZT.