Séance de cours
Techniques de pulvérisation: PVD4, DC, RF
Description
Cette séance de cours couvre les techniques de pulvérisation cathodique utilisées en micro et nanofabrication, y compris la pulvérisation cathodique continue, la pulvérisation cathodique RF et la pulvérisation cathodique magnétron. Il explique la configuration, les avantages, les limites et les conditions de chaque technique, telles que la création de plasma, le condensateur d'auto-polarisation et les exigences de refroidissement cible.
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