Facteur de qualité et stress

Cette séance de cours traite du facteur de qualité et du stress dans les dispositifs micro/nanomécaniques, en mettant l'accent sur les dispositifs étudiés, les techniques de fabrication, l'actionnement, les méthodes de détection et les facteurs influant sur le facteur de qualité. Il explore également la relation entre les niveaux de stress et les limites des facteurs de qualité dans les appareils minces.