Séance de cours
Cette séance de cours couvre la lithographie par faisceau d'électrons (EBL) en se concentrant sur la luminosité du canon à électrons, les aberrations de la lentille, le diamètre effectif du faisceau et la mise en œuvre classique. Les sujets abordés comprennent les facteurs affectant la taille de la sonde, les aberrations de la lentille, les propriétés du faisceau et la mise en œuvre classique des outils EBL.