Séance de cours
Cette séance de cours couvre la conception et l'importance des guides flexibles en microtechnologie, en se concentrant sur leurs avantages tels que l'absence de jeu, le frottement ou l'usure, les rigidités transversales élevées et les pièces monolithiques. Il traite également des inconvénients, des paramètres géométriques et des applications dans les dispositifs MEMS.