Détails d'emballage: Hermétique, getters et exigences de vide

Cette séance de cours couvre l'importance du capsulage hermétique dans les emballages MEMS pour protéger les structures de capteurs et assurer la stabilité mécanique. Il discute des sources de gaz, des exigences de vide, du rôle des getters et des différentes familles de getters. La séance de cours explique également l'activation des getters, fournit des exemples et compare les méthodes d'emballage sous vide. Il se penche sur les méthodes de mesure du taux de fuite, les techniques de caractérisation de l'herméticité et les processus typiques de l'emballage hermétique. En outre, il explore les tests d'herméticité des MEMS en utilisant des méthodes de déviation membranaire, de résonateur et de spectroscopie IR, ainsi que les défis posés par l'encapsulation sous vide. La séance de cours se termine par un aperçu des processus d'accélération et d'empaquetage hermétique du gyroscope, soulignant l'importance des traversées électriques et des traversées de surface latérale dans les connexions des appareils.