NEMS et MEMS: Systèmes micro- et nanoélectromécaniques

Cette séance de cours de l'instructeur couvre les modèles physiques pour les microsystèmes et nanosystèmes, en mettant l'accent sur les systèmes micro- et nanoélectromécaniques. Il s'inscrit dans le MEMS/NEMS le plus simple, des applications pratiques comme la détection de force et la spectrométrie de masse, les résonateurs RF, les séquences de fabrication, les techniques de détection de mouvement et la détection de masse sensible à l'aide de nanotubes de carbone. On discute également du contexte théorique de la mécanique, de la loi de Hooke à l'échelle nanométrique, des types de réponses mécaniques, de la réponse élastique linéaire et des modules élastiques des matériaux.