Séance de cours
Appareils électrostatiques : Modélisation et simulation
Description
Cette séance de cours couvre la simulation par éléments finis de dispositifs électrostatiques, en se concentrant sur les lois d'échelle et les simulations dans les micro et nanosystèmes. Les sujets abordés comprennent la modélisation des condensateurs et des actionneurs à plaques parallèles, la tension d'extraction, les effets de bord / marge et la théorie de l'actionnement électrostatique.
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