MICRO-470: Scaling laws in micro & nanosystems

Résumé

This class adresses scaling laws in MEMS/NEMS. The dominant physical effects and scaling effects when downsizing sensors and actuators in microsystems are discussed, across a broad range of actuation principles.

Source officielle

https://edu.epfl.ch/coursebook/fr/scaling-laws-in-micro-nanosystems-MICRO-470

Page Moodle

http://go.epfl.ch/MICRO-470

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Proximité ontologique

Physique

Électromagnétisme: Circuit électrique, Électromagnétisme

Mécanique (science): Mécanique des fluides

Enseignant

Séances de ce cours (59)

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