Tunning de fréquence basé sur le stress

Cette séance de cours traite du réglage de fréquence basé sur le stress dans les dispositifs micro/nanomécaniques. Les sujets abordés comprennent la conception, la fabrication, la détection, l'actionnement, la non-linéarité optique, les effets de la température sur la fréquence, le NETD, la plage dynamique et l'écart d'Allan. La séance de cours explore l'impact des propriétés des matériaux, de la dilatation thermique et de la contrainte accumulée sur les performances des appareils.