Êtes-vous un étudiant de l'EPFL à la recherche d'un projet de semestre?
Travaillez avec nous sur des projets en science des données et en visualisation, et déployez votre projet sous forme d'application sur Graph Search.
Séance de cours
Lithographie par faisceau d'électrons: II Electron Optics and Beam Deflection
Description
Cette séance de cours explique comment les faisceaux d'électrons sont contrôlés et focalisés à l'aide de lentilles électrostatiques ou électromagnétiques, détaillant les différences avec les systèmes optiques. Il couvre les défis de conception, d'alignement et d'opération, tels que les effets de rotation, les coutures sur le terrain et les stratégies d'écriture.
Source officielle
À propos de ce résultat
Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.