Lithographie par faisceau d'électrons: II Electron Optics and Beam Deflection

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Description

Cette séance de cours explique comment les faisceaux d'électrons sont contrôlés et focalisés à l'aide de lentilles électrostatiques ou électromagnétiques, détaillant les différences avec les systèmes optiques. Il couvre les défis de conception, d'alignement et d'opération, tels que les effets de rotation, les coutures sur le terrain et les stratégies d'écriture.

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