SEM Basics: Introduction à la microscopie électronique

Cette séance de cours couvre les bases de la microscopie électronique à balayage (MEB), y compris la configuration, les sources d'électrons, les lentilles, le système de vide et le système de détection. Il explique les interactions électron-matière, la résolution, et pourquoi les électrons rapides sont essentiels. La séance de cours explore également les techniques SEM, telles que l'analyse chimique et les simulations Monte Carlo, et discute des conséquences de l'utilisation des électrons, des composants du système de vide et des différents types de lentilles utilisés dans SEM. Il explore en outre l'optique électronique, les aberrations et les détecteurs, soulignant l'importance de comprendre les compromis dans l'imagerie SEM.