CVD: Concepts théoriques et couches limites

Cette séance de cours couvre les concepts théoriques en dépôt chimique en phase vapeur (CVD), en se concentrant sur la couche limite de vitesse et la couche limite de concentration près d'un substrat chauffé. Il explique le rôle du nombre de Reynolds dans le transport de masse, en distinguant les régimes d'écoulement laminaire et turbulent. L'interprétation physique du nombre de Reynolds est discutée, en mettant l'accent sur l'équilibre entre l'inertie et les forces de cisaillement visqueuses. La transition entre l'écoulement laminaire et l'écoulement turbulent est explorée, avec des exemples pratiques fournis. En résumé, la séance de cours se penche sur les principes fondamentaux de la CVD et des phénomènes de la couche limite en micro et nanofabrication.