Jauges en silicium: Capteurs piézorésistifs

Cette séance de cours couvre la fabrication et le fonctionnement des jauges de silicium pour les capteurs piézorésistifs, expliquant la formation des diodes pn, les effets piézorésistifs dans les semi-conducteurs et l'impact de la direction cristalline sur les facteurs de jauge. Il se penche également sur la compensation de la dérive thermique et l'intégration des capteurs de pression, en discutant des défis dans les processus d'assemblage et la conception des systèmes de surveillance de la pression des pneus.