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Cette séance de cours couvre l'analyse des systèmes électro-thermo-mécaniques dans les micro et nanosystèmes, en se concentrant sur des sujets tels que les bimorphes thermiques, le coefficient de dilatation thermique, les propriétés des matériaux dépendant de la température et les analyses de profil des dispositifs. L'instructeur explique les simulations multiphysiques, le couplage électrothermomécanique et les effets de la température sur les propriétés du matériau. Divers actionneurs comme les actionneurs à bras chaud, à bras froid et de type V / chevron sont discutés, ainsi que la simulation de la déviation dans les porte-à-faux avec différents matériaux. La séance de cours se penche également sur les actionneurs thermomécaniques, les problèmes de champ couplés et le couplage unidirectionnel / bidirectionnel dans les simulations, en mettant l'accent sur l'interaction entre les aspects électriques, thermiques et structurels dans les microactionneurs.