Séance de cours
MEMS et Cleanroom: Technologies de fabrication
Description
Cette séance de cours couvre les technologies de fabrication utilisées dans les MEMS et les environnements propres, y compris les matériaux et les processus impliqués dans la création de circuits intégrés et de microsystèmes. Il traite de l'importance des salles propres pour prévenir la contamination et assurer la qualité des dispositifs microfabriqués.
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