Séance de cours
Cette séance de cours couvre la transduction du mouvement grâce à des méthodes de détection à levier optique et à interféromètre, expliquant comment les lasers de sondage et les chemins laser fendus sont utilisés pour capturer les réflexions des dispositifs mécaniques. Il traite également de la mise en œuvre, de la résolution, des limitations d'intégration, des problèmes d'alignement et des problèmes de diffraction associés à ces techniques de détection. En outre, la séance de cours explore la transduction à l'échelle microscopique, détaillant diverses méthodes d'actionnement et de détection telles que la détection capacitive et piézoélectrique. La présentation explore les principes de la détection capacitive, en mettant l'accent sur les changements de tension entre les surfaces conductrices et les ponts d'impédance. En outre, il examine la détection piézoélectrique, en soulignant comment la contrainte mécanique génère des charges et le couplage à travers des moments de flexion. Les exigences idéales pour la transduction de MEMS, y compris la faible consommation d'énergie, le rendement élevé, la robustesse, la linéarité et la réponse rapide, sont également discutées.