Inspection et métrologie : Microscopie électronique

Cette séance de cours couvre les principes et les applications de la microscopie électronique à balayage (MEB) en micro et nanofabrication. Il explique pourquoi les électrons sont utilisés à la place des photons, des composants d'un système SEM et des différents signaux électroniques utilisés pour l'inspection. La séance de cours aborde également les défis de la charge en SEM, la mesure de la dimension latérale XY, et les avantages et les limites de SEM dans l'inspection des échantillons souples.