Cette séance de cours présente la microscopie à sonde à balayage (SPM) et son histoire, y compris le développement de la STM et de l'AFM. Il couvre les principes du SPM, tels que le tunnelage quantique et les forces de Van-der-Waals, et discute des défis à relever pour atteindre une résolution élevée. L'utilisation de mécanismes de rétroaction dans le SPM, la comparaison avec d'autres techniques de microscopie et l'importance des interactions pointe-échantillon sont également explorées. Les applications dans la recherche et l'industrie des semi-conducteurs sont mises en évidence, soulignant l'importance du SPM dans l'analyse de surface et les mesures de topographie.