Conception de miroirs MEMS avec Serpentine Springs
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Description
Cette séance de cours couvre la conception et les défis des ressorts pliés (serpentine) dans les dispositifs MEMS, en se concentrant sur leur utilisation dans les applications de flexion et de torsion. L'instructeur présente des exemples de miroirs MEMS pour la connexion transversale optique, discutant de l'ingénierie des ressorts en silicium monocristallin pour la tolérance aux chocs et les modes de défaillance observés à différentes forces G.
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