Modes d'échec dans MicroNanosystems : comprendre la fatigue et la force de fracture

Cette séance de cours explore les modes de défaillance dans MicroNanosystems, en se concentrant sur la fatigue et la résistance aux fractures. Il couvre le concept de fatigue en tant que diminution de la limite élastique dépendante du cycle, l'impact des charges fluctuantes sur des matériaux comme l'acier et les défis d'ingénierie des ressorts en Si pour la tolérance aux chocs. La discussion comprend également la résistance à la rupture des différentes couches de poly-Si et l'effet de la température sur la fracture. La séance de cours donne un aperçu de la limite d'endurance des matériaux, de l'occurrence rare de fatigue dans le silicium par rapport aux MEMS métalliques et du diagramme de probabilité d'échec de Weibull pour les couches de poly-silicium à différentes températures.