Séance de cours
Ceintures et échafaudages de plasma
Description
Cette séance de cours aborde des sujets liés aux gaines et à la gravure au plasma, y compris les profils de potentiel et de densité de gaine, le flux d'ions à travers une gaine sans collision, le critère de Bohm, les densités d'ions et d'électrons, l'équation de Poisson dans la gaine, et les conséquences de Bohm sur la vitesse des ions, le flux d'ions, la vitesse et la vitesse des ions et l'énergie de bombardement des ions.
Source officielle
À propos de ce résultat
Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.