Séance de cours
Cette séance de cours aborde des sujets liés aux gaines et à la gravure au plasma, y compris les profils de potentiel et de densité de gaine, le flux d'ions à travers une gaine sans collision, le critère de Bohm, les densités d'ions et d'électrons, l'équation de Poisson dans la gaine, et les conséquences de Bohm sur la vitesse des ions, le flux d'ions, la vitesse et la vitesse des ions et l'énergie de bombardement des ions.