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Georges-André Racine

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Publications associées (6)

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Direct writing laser of high aspect ratio epoxy microstructures

Jürgen Brugger, Georges-André Racine, Victor Javier Cadarso Busto, Jean-Baptiste Bureau

The development of high aspect ratio (AR) structures is of great interest in several ﬁelds such as micro-electro-mechanical systems or microﬂuidics. In this note we present a new processing method of epoxy materials based on direct write laser (DWL) scanni ...

Institute of Physics2010

Polyimide sacrificial layer for SOI SG-MOSFET pressure sensor

Mihai Adrian Ionescu, Didier Bouvet, Vincent Pott, Montserrat Fernandez-Bolanos Badia, Nicolas Abelé, Georges-André Racine

This paper reports on the fabrication and electrical characterization of a novel pressure sensor based on a suspended-gate MOSFET (SG-MOSFET) using a new polyimide process. The device is composed of a SG-MOSFET built on a thin SOI membrane released by a ba ...

Elsevier2006

High-density, high-aspect ratio epoxy microstructures by Direct Write Laser Patterning

Jürgen Brugger, Georges-André Racine, Victor Javier Cadarso Busto, Vaida Auzelyte, Jean-Baptiste Bureau

2010