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Micro- or nanostructured optical element

Silicon photonic microelectromechanical systems add-drop ring resonator in a foundry process

Diamond diffractive optics-recent progress and perspectives

Wafer-Level Vacuum Sealing for Packaging of Silicon Photonic MEMS

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Silicon photonic microelectromechanical phase shifters for scalable programmable photonics

Low-Voltage Silicon Photonic Mems Switch With Vertical Actuation

Method for flattening substrates or layers using 3d printing and etching

Smart Slit Assembly Employing Continuously Tunable MEMS Shutter