Michela Antonella Barbieri

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Publications associées (1)

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Publications associées (1)

Effect of substrate roughness on c-oriented AlN thin films

Paul Muralt, Alvaro Artieda, Michela Antonella Barbieri

(001)-textured AlN thin films as needed for bulk acoustic wave devices exhibit large mechanical stress variations as a function of growth substrate properties. We studied the relationship between stress and the surface morphology of a thermally oxidized si ...

2009

Effect of substrate roughness on c-oriented AlN thin films

Paul Muralt, Alvaro Artieda, Michela Antonella Barbieri

2009