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Yves-Alain Peter

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Publications associées (2)

Veuillez noter qu'il ne s'agit pas d'une liste complète des publications de cette personne. Elle inclut uniquement les travaux sémantiquement pertinents. Pour une liste complète, veuillez consulter Infoscience.

MEMS Tunable Asymmetric Fabry-Perot Cavity for High-Precision Weighing of Macro Samples

Luc Thévenaz, Alexandre Poulin, Yves-Alain Peter

We propose a microelectromechanical systems-based tunable asymmetric Fabry-Perot cavity for the high-precision weighing of macro samples. The device is based on an in-plane design and is structured in a silicon-on-insulator substrate. The cavity length of ...

Institute of Electrical and Electronics Engineers2013

Introduction to the Issue on Nanophotonics and Optical MEMS

Olivier Martin, Yves-Alain Peter

Institute of Electrical and Electronics Engineers2009