Chenxiang Zhang

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Laboratoire de microsystèmes 1

EPFL
STI
IEM
LMIS1

Beyond the Mask: Advancing Fabrication and Immersive Learning

Jürgen Brugger, Arnaud Bertsch, Jongeon Park, Berke Erbas, Chenxiang Zhang

This paper presents advances in micro and nanofabrication techniques beyond conventional lithographic masks with examples of inkj et printing, nanostencil lithography, molecular-level doping methods, and thermal scanning probe lithography. These methods en ...

IEEE2025

Frame structure for thin-film piezoelectric-on-silicon resonator to greatly enhance quality factor and suppress spurious modes

Tao Zhang, Chenxiang Zhang, Xiao Sheng Zhang, Ye Zhang, Xiaopeng Li

2018