Publication

A Novel Low Noise Hydrogenated Amorphous Silicon Pixel Detector

Arvind Shah, Matthieu Despeisse
2004
Article

Résumé

Firsts results on particle detection using a novel silicon pixel detector are presented. The sensor consists of an array of 48 square pixels with 380 μm pitch based on a n-i-p hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) film deposited on top of a VLSI chip. The deposition was performed by VHF-PECVD, which enables high rate deposition up to 2 nm/s. Direct particle detection using beta particles from 63Ni and 90Sr sources was performed. © 2004 Elsevier B.V. All rights reserved.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/record/133922?ln=fr

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Plasma-Assisted Hybrid Vapour Deposition Technology for Thin Film Fabrication

Vapor deposition of metal halide perovskite thin films: Process control strategies to shape layer properties

Enhancing solar disinfection of water in PET bottles by optimized in-situ formation of iron oxide films. From heterogeneous to homogeneous action modes with H2O2 vs. O-2 - Part 1: Iron salts as oxide precursors

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