Digital Holographic Microscopy (DHM) applied to optical metrology: A resolution enhanced imaging technology applied to inspection of microscopic devices with subwavelength resolution

Christian Depeursinge, Tristan Colomb, Jonas Kühn, Florian Charrière, Frédéric Montfort, Mihaela Marian
2006
Article de conférence

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/record/139753?ln=fr

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