Microsystems and Sensors

Yves Bellouard
2011
Chapitre de livre

Résumé

In this chapter, the use of femtosecond laser to fabricate glass-based microsystems and sensors is examined. Several advanced technology demonstrators are presented, including some very unusual fused silica MEMS. Present technological barriers are discussed.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/record/210100?ln=fr

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Microsystems and Sensors

Femtosecond-laser direct-write photoconductive patterns on tellurite glass

On the interaction of femtosecond laser pulses with layered dielectric materials

Contactless Optical Packaging Concept for Laser to Fiber Coupling

Femtosecond-laser direct-write photoconductive patterns on tellurite glass

On the interaction of femtosecond laser pulses with layered dielectric materials

Contactless Optical Packaging Concept for Laser to Fiber Coupling