High-resolution microscopy and photolithography devices using focusing micromirrors

Fabrice Merenda, Bastien Rachet, René Salathé
2010
Brevet

Résumé

The invention relates to large-field high-resolution microscopy and photolithography setups operating with polychromatic light. It includes the use of a plurality of focusing micromirrors.

Official source

https://infoscience.epfl.ch/record/211708?ln=fr

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