Lampe à vapeur de mercurevignette|Une lampe à vapeur de mercure de 175 watts, environ 15 secondes après le démarrage. Une lampe à vapeur de mercure est une lampe à décharge qui utilise un arc électrique à travers du mercure vaporisé pour produire de la lumière. vignette|Lampe de Cooper Hewitt, 1903. Si l'on fait traverser les vapeurs de certains corps par un courant électrique ces vapeurs deviennent lumineuses. Charles Wheatstone a observé le spectre d'une décharge électrique dans de la vapeur de mercure en 1835 et a noté les raies ultraviolettes dans ce spectre.
PhotolithographieLa photolithographie est l'ensemble des opérations permettant de transférer une image (généralement présente sur un masque) vers un substrat. Cette technique est très utilisée dans l'industrie du semi-conducteur. Les motifs de l'image ainsi transférée deviendront par la suite les différentes zones des composants électroniques (exemple : contact, drain...) ou les jonctions entre ces composants.
Tube fluorescentUn tube fluorescent est une lampe électrique de forme tubulaire, de la famille des lampes à décharge à basse pression. Il contient du mercure à l'état gazeux, dont les atomes sont ionisés sous l'effet d'un courant électrique appliqué entre les électrodes placées à chaque extrémité du tube ; ils émettent alors par luminescence un rayonnement essentiellement ultraviolet, qui est converti en lumière visible par la poudre fluorescente déposée sur les parois du tube. La couleur de la lumière émise dépend de la nature de la poudre fluorescente utilisée.
Lampe aux halogénures métalliquesthumb|upright=1.4|Lampe HMI de . Une lampe aux halogénures métalliques est une lampe à décharge à haute pression, de la famille des lampes à arc, dont la température de couleur est très proche de la lumière du jour (typiquement , généralement entre et ). Certaines d'entre elles sont connues sous le nom de lampe HMI, sigle de l'expression allemande Hydrargyrum Mittlere bogenlänge Iod, et traduit en anglais par : Hydrargyrum medium-arc iodide (HMI), marque déposée de la firme allemande Osram.
Lampe électroluminescenteLa lampe électroluminescente, dite lampe LED ou lampe DEL, est un type de lampe électrique qui utilise des diodes électroluminescentes, lesquelles mettent en œuvre le phénomène d'électroluminescence. vignette|redresse|Lampes à LED à culot à vis Edison E27 (). vignette|redresse|Lampes à LED. vignette|redresse|Une ampoule LED équivalente allumée vue au travers d'un filtre.
Lampe à déchargeUne lampe à décharge est une lampe électrique constituée d'un tube ou d'une ampoule en verre remplie de gaz ou de vapeur métallique, sous haute ou basse pression, au travers duquel on fait passer un courant électrique, il s'ensuit une conversion en photons donc de la lumière. La couleur de la lumière émise par luminescence, par ces lampes dépend du gaz utilisé parmi lesquels : le néon donne une couleur rouge ; le mercure s'approche du bleu tout en produisant une quantité d'ultraviolet importante ; le sodium rayonne dans le orange ; le xénon est légèrement grisé à gris clair ou à forte intensité bleu-vert très vif à bleu.
Masque photographiqueA photomask is an opaque plate with transparent areas that allow light to shine through in a defined pattern. Photomasks are commonly used in photolithography for the production of integrated circuits (ICs or "chips") to produce a pattern on a thin wafer of material (usually silicon). Several masks are used in turn, each one reproducing a layer of the completed design, and together known as a mask set. For IC production in the 1960s and early 1970s, an opaque rubylith film laminated onto a transparent mylar sheet was used.
Lampe à arcthumb|Lampes à arc Une lampe à arc est un système procurant de la lumière à l'aide d'électricité sous forme d'un arc électrique. thumb|Un arc électrique entre deux électrodes. Depuis la découverte de l'arc électrique par le chimiste anglais Sir Humphry Davy, en 1811, les recherches furent nombreuses. Il avait obtenu un arc de de long, après avoir amené en contact deux baguettes de charbon reliées aux deux pôles d'une batterie d'éléments Volta ; entre les deux baguettes se produisit une flamme qui s'incurva en forme d'arc de cercle sous l'effet du courant d'air chaud ascendant, c'est pourquoi il donna à cette flamme le nom d'arc électrique, nom qui fut conservé depuis.
StepperA stepper is a device used in the manufacture of integrated circuits (ICs) that is similar in operation to a slide projector or a photographic enlarger. Stepper is short for step-and-repeat camera. Steppers are an essential part of the complex process, called photolithography, which creates millions of microscopic circuit elements on the surface of silicon wafers out of which chips are made. These chips form the heart of ICs such as computer processors, memory chips, and many other devices.
Lithographie extrême ultravioletvignette|La technologie EUV. vignette|Outil de lithographie EUV. La lithographie extrême ultraviolet ou lithographie EUV est un procédé de photolithographie assez semblable aux procédés de lithographie classiques actuels. Il utilise un rayonnement ultraviolet (UV) d'une longueur d'onde de l'ordre de dix à quinze nanomètres (le rayonnement EUV avoisine donc la gamme des rayons X-mous), en remplaçant les objectifs (ou masques dits « en transmission ») par une série de miroirs de précision (exemple des masques dits « en réflexion »).