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We demonstrate dissipation dilution engineering techniques for ultralow dissipation mechanical resonators. The Si3N4 nanobeams show quality factors (Q) as high as 800 million and Q x f exceeding 10(15) Hz-both records at room temperature. (C) 2019 The Author(s)
Véronique Michaud, Alexandre Achille Looten, Muriel Richard, Antonio Caiazzo
Majed Chergui, Lijie Wang, Davood Zare
Edoardo Charbon, Claudio Bruschini, Ekin Kizilkan, Utku Karaca, Vladimir Pesic, Myung Jae Lee