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Publication
Growth, Properties, and Applications of Al1-xScxN Thin Films
Paul Muralt, Stefan Mertin, Mohammad Fazel Parsapour Kolour, Vladimir Pashchenko
2019
Article de conférence
2019
Article de conférence
Résumé
The discovery of enhanced piezoelectricity in solid solutions of AlN and ScN is certainly one of the most important events in piezoelectric MEMS. As compared to pure AlN, it brought a crucial factor 2 to 3 improvement in a number of figures of merit governing the performance of MEMS devices. The aim of this contribution is to give a short overview on actual topics in processing, properties, and applications in RF filters and sensors.
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