Hybrid Si3N4-LiNbO3 integrated platform for electro-optic conversion

Tobias Kippenberg, Rui Ning Wang, Mikhail Churaev, Junqiu Liu, Tianyi Liu
2020
Article de conférence

Résumé

We demonstrate the integration of a Si3N4 Damascene photonic platform with thin-film lithium niobate on insulator (LNOI) via direct wafer bonding. This process enables fabrication of hybrid chi((2))-chi((3)) microresonators with Q similar to 10(6), as well as integrated travelling wave EO modulators. (c) 2020 The Author(s)

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/record/284162?ln=fr

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Hybrid Si3N4-LiNbO3 integrated platform for electro-optic conversion

Frequency-scalable fabrication process flow for lithium niobate based Lamb wave resonators

Monolithic Fabrication of Silicon Nanowires Bridging Thick Silicon Structures

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