Quantitative study of the thickness-dependent stress in indium tin oxide thin films

Varun Gupta
2023
Article

A quantitative analysis of stress in indium tin oxide (ITO) films with varying thicknesses was conducted using high-precision stylus profilometry. The experimental results revealed a transition of the stress type from tensile to compressive as the ITO film thickness increased. Further investigation of the surface morphology of the ITO films indicated that the tensile stress originated from the impingement and coalescence of newly deposited equiaxed grains, while the observed compressive stress was attributed to the incorporation of excess material in the boundaries of columnar grains. The ability to monitor stress evolution in sputtered ITO films on glass substrates provides valuable insights for process control in ITO device manufacturing.

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Varun Gupta
2023
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L'oxyde d'indium-étain (ITO, pour l'anglais indium tin oxide), ou oxyde d'indium dopé à l'étain, est un mélange d'oxyde d'indium(III) et d'oxyde d'étain (IV) SnO, dans la proportion massique typique de 90 % du premier et 10 % du second. Ce composé est incolore et transparent en couches minces, de jaunâtre à gris sous forme massique. La caractéristique principale de l'oxyde d'indium-étain est sa combinaison de conductivité électrique et de transparence optique.

Contrainte (mécanique)

vignette|Lignes de tension dans un rapporteur en plastique vu sous une lumière polarisée grâce à la photoélasticité. En mécanique des milieux continus, et en résistance des matériaux en règle générale, la contrainte mécanique (autrefois appelée tension ou « fatigue élastique ») décrit les forces que les particules élémentaires d'un milieu exercent les unes sur les autres par unité de surface. Ce bilan des forces locales est conceptualisé par un tenseur d'ordre deux : le tenseur des contraintes.

Essai de traction

thumb|Essai de traction terminé. Un essai de traction est une expérience de physique qui permet d'obtenir des informations sur le comportement élastique, le comportement plastique et le degré de résistance à la rupture d'un matériau, lorsqu'il est soumis à une sollicitation uniaxiale. Certains objets manufacturés doivent avoir un minimum de solidité pour pouvoir supporter les charges, le poids et bien d'autres efforts. L'essai de traction permet de caractériser les matériaux, indépendamment de la forme de l'objet sollicité, ou la performance d'un assemblage mécanique.